Xitoyning SMEE kompaniyasi 90 foizi xitoylik komponentlardan iborat litografiya qurilmalarini seriyali ishlab chiqarishni boshladi
Bunday qurilmalar sunʼiy intellekt tizimlari komponentlari, xotira mikrosxemalari, mikroprotsessorlar va Micro LED ishlab chiqarish uchun moʻljallangan
Qurilmalarning asosiy komponentlarining 90 foizdan ortigʻi Xitoyda ishlab chiqariladi, uskunalar esa allaqachon seriyali ishlab chiqarilmoqda. Bir necha tizim mamlakatdagi mantiqiy mikrosxemalar va xotira ishlab chiqaradigan yirik korxonalarda ishlamoqda; ularning foydalanishga tayyorlik darajasi 92 foizdan yuqori.
SSC800 KrF-litografiyadan foydalanadi va 110 nm dan boshlab texnologik jarayonlar uchun moʻljallangan. SSB800 I-line texnologiyasida ishlaydi va 280 nm dan boshlab meʼyorlarni qoʻllab-quvvatlaydi. Bu texnologiyalar kuch yarimoʻtkazgichlari, analog yarimoʻtkazgichlar, shuningdek, MEMS ishlab chiqarishda qoʻllanadi.
Har ikki tizimda Xitoyda ishlab chiqilgan proyeksion optika, yoritish tizimlari, materiallarni avtomatik uzatish va plastinalarni ikki pozitsiyali qayta ishlash texnologiyasi qoʻllanadi. Qatlamlarni moslashtirish aniqligi va qurilmalarning unumdorligi tegishli toifadagi xorijiy uskunalar koʻrsatkichlariga yaqinlashmoqda.
Modellar Shanxayda 5–10 noyabr kunlari boʻlib oʻtgan China International Import Expo koʻrgazmasida taqdim etildi. SMEE 2002 yildan beri faoliyat yuritadi va quruq proyeksion litografiya qurilmalarini seriyali tarzda barqaror yetkazib bera oladigan yagona xitoylik ishlab chiqaruvchi boʻlib qolmoqda. 2022 yil dekabrida kompaniya AQShning eksport cheklovlari roʻyxatiga kiritilgan.
Shu bilan birga, Xitoyda immersion DUV-litografiya ham rivojlanmoqda. Davlat kompaniyalaridan biri bunday qurilmalarni seriyali ishlab chiqarishni allaqachon boshlagan, biroq ular hozircha ASML analoglaridan ancha ortda qolmoqda.
